三次元測(cè)量?jī)x采用先進(jìn)的全鋁技術(shù)。橫梁和Z軸由硬質(zhì)陽極化航空鋁合金制成,具有更好的溫度一致性。運(yùn)動(dòng)部件的重量和高速運(yùn)行時(shí)測(cè)量機(jī)的慣性減小,以確保高速和高精度。三次元測(cè)量?jī)x的三軸導(dǎo)軌均采用高精度自清潔空氣軸承,運(yùn)動(dòng)更加穩(wěn)定,導(dǎo)軌不易磨損。三軸均采用高精度歐洲進(jìn)口光柵尺,系統(tǒng)分辨率可達(dá)0.078um,同時(shí)一端固定,另一端自由伸縮,減少光柵尺的變形,保證溫度變化時(shí)的線性膨脹。
三次元測(cè)量?jī)x采用先進(jìn)的全鋁技術(shù)。橫梁和Z軸由硬質(zhì)陽極化航空鋁合金制成,具有更好的溫度一致性。運(yùn)動(dòng)部件的重量和高速運(yùn)行時(shí)測(cè)量機(jī)的慣性減小,以確保高速和高精度。三次元測(cè)量?jī)x的三軸導(dǎo)軌均采用高精度自清潔空氣軸承,運(yùn)動(dòng)更加穩(wěn)定,導(dǎo)軌不易磨損。三軸均采用高精度歐洲進(jìn)口光柵尺,系統(tǒng)分辨率可達(dá)0.078um,同時(shí)一端固定,另一端自由伸縮,減少光柵尺的變形,保證溫度變化時(shí)的線性膨脹。
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